第47週 対訳2本目終了

 
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かぼちゃ
かぼちゃ。特許翻訳者を目指すパート主婦。 東海地方在住、39歳。 家族構成:夫、子ども(9歳)、子ども(1歳)。 レバレッジ特許翻訳講座第7期生。自己流の勉強方法を経て特許翻訳に参入するも痛い目を見て撤退。その後化学・物理を基礎からやり直し、今度こそプロとして通用するレベルで参入すべく準備中。

1本目と同じ企業のレジスト特許で、2本目の対訳をとりました。前回ほど時間はかかりませんでしたが、まだまだ知らない用語が出てくるので、調べてノートを作って知子と用語ベースに入れて・・・の繰り返しです。自分で訳してみると、公開訳文の訳者さんとの「差」を感じます。残念ながらまだ自分の方が下です。この「差」は何だろう?どこが違うのだろう?一つ一つリストにして、分析してみると、自分はまだイメージ力が甘いことに気付かされます。もう少し踏み込んでイメージしてみることを、手を抜かずやってみます。

「witness plate」とは?

今回の特許は、アウトガスが少ないフォトレジスト組成物。

プロセス工程中にレジストから気体が発生することを、アウトガスといいます。これが汚染の原因になるんですね。

発明したフォトレジスト組成物のアウトガスが少ないことを、「ASML Witness Plate protocol」という方法で実証しています。その工程は次のように説明されています。

The ASML witness plate resist outgassing protocol has several steps. They include hydrogen cleaning the witness plate to remove any existing contaminants, performing the exposure of the witness plate simultaneous to exposure of the resist coated wafer with a EUV or electron beam radiation then analyzing the witness plate by ellipsometry to measure the contamination.This is followed by another hydrogen cleaning step, and finally X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) analysis to measure the residual non-cleanable contamination.

つまり、(おそらく何かのチャンバー内にて)witness plateとレジスト組成物を塗布したウェハとを同時に露光すると、発生した気体(不純物)がwitness plateに付着するので、それを偏向解析法で分析する、というもの。

witnessには目撃者とか立会人とかいう意味がありますが、動詞で「~に立ち会う」、「証言する」「証拠となる」といった使い方ができます。なんとなくwitness plateのイメージがつかめてきました(しかしこれを言語化できない語彙力の低さよ・・・)。

では肝心の訳語をどうするか?という問題ですが、結論としては「ウィットネスプレート」で良さそうです。理由は、宇宙用材料評価試験や、防衛省の耐弾性評価試験などで「ウィットネスプレート」が同じ目的で使用されているため。はやぶさ2にも設置されていたようです。

ウィットネスプレート:環境を計測するために洗浄されたガラスプレート。地球帰還後にガラス表面に付着した層を分析することで、サンプルがどのような環境に晒されていたかモニタすることができる。はやぶさでもサンプルを収納するキャッチャ内に設置されていました。
引用: 「はやぶさ2プロジェクトの事前評価質問に対する回答」

また、この工程の最後に登場するX線光電子分光(XPS)分析についても調査。ここでヒットしたJeolの説明が秀逸でした。

「着ている服からデートの相手をあてる」

ちょっと、ここで我々の日常生活を考えましょう。会社で仕事をする時は作業服を着ます。営業マンは、客先へ背広で出かけますが、休日に遊びに行く時は、Tシャツで出かけるかもしれません。野球の選手も、水泳をする時には水泳パンツをはくでしょう。我々は会う相手、行く場所によって、それにふさわしい服装をしようとします。実は原子も同じようなふるまいをします。原子は、他の原子と結合(デート)して分子を作りますが、相手によって、外側にある電子の形状を変えて結合するのです。つまり、デートの相手が変われば服装も変わるというわけです。

引用:https://www.jeol.co.jp/science/xps.html

つまりX線光電子分光分析では、X線を物質にあてたときに出てくる光電子の速度を測定することで、原子がどんな相手とデートしているか=どんな結合をしているのか(π結合、σ結合などのことと理解)を知ることができるという訳です。

はっきり言って難しいことまでは理解できてませんが、この説明で、だいたいの目的と仕組みがさっと理解出来ました。この文章を書いた方に100いいね!を送りたい!こんな説明がさらっと出来るようになりたいものです。

それではこの調子で次のレジストの対訳をとっていきます。

勉強時間:37h

内容:対訳収集、「IBMレジスト特許を読む」(12)~(14)

このひと月、下の子の眠りが不安定なため朝の学習時間が減っています。一方、夏休み期間中はパートの出勤日を減らしてもらう交渉が上手くいったので、日中に取り戻したいと思います。

週末には梅雨明けの予想。ついに夏が来ますね!

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かぼちゃ。特許翻訳者を目指すパート主婦。 東海地方在住、39歳。 家族構成:夫、子ども(9歳)、子ども(1歳)。 レバレッジ特許翻訳講座第7期生。自己流の勉強方法を経て特許翻訳に参入するも痛い目を見て撤退。その後化学・物理を基礎からやり直し、今度こそプロとして通用するレベルで参入すべく準備中。

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